반도체장비

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WeChat Image_20200708084609 광범위한 범위에서의 온도, 습도 조절이 용이합니다.
PID 제어방식에 의한 One Touch Program Controller(LCD screen)를 사용하여 조작이 용이합니다.
Ling Blower를 사용하여 Chamber내부의 순환공기의 흐름을 일정하게 유지하여 온도와 습도의 분포도를 균일하게 유지 및 제어할 수 있도록 설계된 장비입니다.
내부 관측창이 발열 코팅유리로 되어 유리 표면 물 맺힘 현상이 없어 내부 투시가 용이합니다.
각종 안정장치(Over Temp., Fan Motor/Ref Overload, Bkm등)를 장학하여 Error 발생시 동작이 중지 됩니다.
Controller에 Error 항목 메시지가 표시되어 확인 할 수 있습니다.
One Touch 방식으로 편리하게 사용할 수 있도록 설계 되었습니다.